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Micro LED激光巨量轉移設備

該設備不僅可以保證激光巨量轉移過程中不對芯片造成損傷，而且還保證Micro-LED轉移落點精準并可按照需求設置轉移后Micro LED芯片陣列排布，并可以結合AOI&PL機臺mapping圖，高速準確選擇性轉移ok片。

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輥壓機激光在線清洗系統

特殊光學設計，輥面無損，匹配最大運行速度≥150米/分鐘

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碳化硅晶錠激光切片設備

本設備用于碳化硅晶錠/片的激光切片加工，激光加工完成后配合輔助的分片裝置，完成晶片切割后的分片。材料損耗小，加工效率高，設備運行無需耗材，加工成本低。

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卷對卷激光烘烤設備

主要用于鋰離子電池正、負極極片的激光加熱除水。

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TGV玻璃激光微孔設備

主要利用激光進行誘導不同材質0.1-1mm厚晶圓玻璃的微孔加工（TGV），可實現各種尺寸盲孔、圓錐（通）孔制備。

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UTG玻璃切割設備

該設備通過特殊的光學整形系統和加工軟件定制開發實現對UTG的高速穩定切割，配備有自動影像定位系統，為產品的自動高速工作提供保障，可配備機器人和上下料模組實現自動上下料加工，提高產能。

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三工位激光烘烤模切疊一體機

設備主要包含極片極耳裁切，且自帶激光加熱工位，自主實現對極片的除水，以降低水含量，集除水、制片、疊片一體，高效省空間。

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量產線激光綜合加工設備

該設備主要用于鈣鈦礦太陽能電池過程片的P0打標、P1/P2/P3劃線，以及P4清邊。全自動生產，實現無人值守，適配100MW/150MW/1GW產線。

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